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產品型(xing)號： DH-900DZX
所屬分類：示波器
產(chan)品時間：2016-08-25
簡(jian)要描述：DH-900DZX箱式(shi)多弧磁控鍍(du)膜(mo)機(ji)DH900DZX使用說(shuo)明書該(gai)鍍(du)膜(mo)機(ji)可鍍(du)制(zhi)不銹鋼、鉻、鈦、鎢等(deng)多種金屬，也可鍍(du)制(zhi)合金膜(mo)或(huo)化(hua)合物，也可在(zai)工件表(biao)面上(shang)鍍(du)制(zhi)單(dan)層(ceng)(ceng)或(huo)多層(ceng)(ceng)介質膜(mo)或(huo)金屬 ZrN、TiCN、TiAlN 等(deng)硬質或(huo)裝飾涂層(ceng)(ceng)，具有鍍(du)膜(mo)速(su)度快(kuai)、膜(mo)層(ceng)(ceng)質量好的優點。
DH-900DZX箱式多弧(hu)磁(ci)控鍍(du)膜(mo)機DH900DZX使(shi)用說明(ming)書
該鍍(du)膜(mo)機可(ke)鍍(du)制不銹(xiu)鋼、鉻、鈦、鎢等(deng)(deng)多(duo)種金屬，也(ye)可(ke)鍍(du)制合(he)金膜(mo)或化合(he)物，也(ye)可(ke)在工(gong)件表面上鍍(du)制單層(ceng)或多(duo)層(ceng)介質膜(mo)或金屬 ZrN、TiCN、TiAlN 等(deng)(deng)硬(ying)質或裝(zhuang)飾涂層(ceng)，具有鍍(du)膜(mo)速度快、膜(mo)層(ceng)質量好的(de)優點(dian)。
◆ 真空室：鍍膜室尺(chi)寸900mm×900mm×1000mm；箱式、前開門結(jie)構；
◆ 抽氣系(xi)統：機械泵：前級(ji)泵70L/S；維持泵：2X-8旋片泵；羅茨泵：ZJP-150； 擴散泵：KT-500 ；分子泵: FF250/1600（選配）；
◆ 極限真空：5×10-4Pa；恢復真空：5×10-3 Pa（小(xiao)于20min）；
◆ 鍍膜(mo)系統：平面磁控(kong)靶或(huo)圓(yuan)柱磁控(kong)靶/直流功率源或(huo)中頻功率源；小弧源/柱弧源；
◆ 輔助鍍膜系統：脈沖偏壓電(dian)源(yuan)，條形離子源(yuan)（選配）；
◆ 膜厚測量系統(tong)：石英晶(jing)體膜厚監控系統(tong)（選配(pei)）；
◆ 進氣系統(tong)：自動(dong)壓(ya)強控制(zhi)+多路質量流量控制(zhi)系統(tong)；
◆ 操作方式：手動按鍵式；控(kong)制系統配置：研華工控(kong)機，80G硬(ying)盤，512內存(cun)+日本三菱(ling)PLC；10英寸液晶顯示觸摸(mo)屏界面(mian)；
◆ 旋(xuan)轉夾(jia)具：公轉/自轉夾(jia)具，速度從(cong) 0～15r/min 無級可調(diao)；
◆ 工件烘烤(kao)：室溫～300℃；
◆ 供電電源: 三相380V，50Hz。
◆ 特殊規格可定制。
DH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機(ji)DH900DZX使用說明(ming)書
TU-10 DU-20 HH.S21-4 HH.S11-2 HH.S11-2-S HH.S21-6-S HH.S21-8-S WZZ-1 HH.S21-4-S DZKW-D-4 DZKW-D-4 DZKW-D-4 DZKW-D-4 DZKW-D-2