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DH-500ZZS型箱式電子束蒸發(fa)鍍(du)膜機DH500ZZS使用說明書

該(gai)鍍膜(mo)(mo)機為(wei)前開門箱式電(dian)子束蒸發鍍膜(mo)(mo)設備(bei)，該(gai)鍍膜(mo)(mo)機功能(neng)強、鍍膜(mo)(mo)質(zhi)量(liang)穩定、重復(fu)性好(hao)、操作簡便。適用于(yu)制備(bei)導電(dian)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)，半導體薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)、鐵電(dian)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)、光學薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)，高性能(neng)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)研(yan)究及新材料科學研(yan)究工作。

　　鍍膜(mo)機的(de)真空室材(cai)(cai)料(liao)均采(cai)用優良材(cai)(cai)質SUS304 不銹鋼材(cai)(cai)料(liao)制造，工藝規范(fan)、精致(zhi)，具(ju)有高真空度、高清潔度，可以保證(zheng)材(cai)(cai)料(liao)的(de)成膜(mo)純度。

　　采用(yong)大抽(chou)速的變頻控制分子(zi)泵+直聯機械泵機組，具有抽(chou)速快、無(wu)油、操作(zuo)方便(bian)快捷、易于維護的特點(dian)。配備270°E型電子(zi)束蒸發源，電源穩定，控制精度(du)高，帶有高壓自動(dong)滅弧復位(wei)裝置，操做簡便(bian)，性能可靠(kao)。

　　適(shi)合(he)大學物理、材料、化學等領(ling)域的學生實驗及教師(shi)科學研究(jiu)。

　　◆ 鍍(du)膜室(shi)體積：500mmX500mmX600mm；

　　◆ 極(ji)限真空(kong)度：6.7X10-5 Pa，恢復真空(kong)：從大氣(qi)抽至6.7X0-4 Pa （40分鐘）；

　　◆ 真空(kong)抽氣系統：機械泵與分(fen)子(zi)泵組成；

　　◆ 真空測量系統(tong)：數顯復合真空計(ji)；

　　◆ ;蒸(zheng)發源：電子束蒸(zheng)發源：E型電子槍，功率(lv)0～6KW可調；電阻(zu)蒸(zheng)發源：功率(lv)3kW/10V兩(liang)組；

　　◆ 工件(jian)烘(hong)烤溫(wen)(wen)(wen)度：室溫(wen)(wen)(wen)～350℃可控(kong)可調（PID控(kong)溫(wen)(wen)(wen)）；

　　◆ 選(xuan)配件：光學膜厚測量儀(yi)、石(shi)英晶振測厚儀(yi)、高壓離(li)子(zi)(zi)轟(hong)擊、霍爾離(li)子(zi)(zi)源(yuan)、冷卻水機組等(deng)；

　　◆ 供電(dian)電(dian)源：三(san)相AC380V，50Hz。

　　◆ 特殊規格可定制。

DH-500ZZS型(xing)箱式電子束蒸(zheng)發鍍膜機(ji)DH500ZZS使用說明書(shu)

 LDZX-75KAS  LDZX-75KB  LDZX-50KAS  LDZX-50FB LDZX-50FA YA.ZD-20 YA.ZD-5 CH1006 TU-100C  DU-20  HHS-21-6 HH.S11-8  B-220 HH.S11-1