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產品(pin)型號： DH-500JJC
所(suo)屬(shu)分類：電阻測量儀
產品時間：2016-08-25
簡要描述：DH-500JJC型多(duo)(duo)靶磁(ci)控濺(jian)射鍍(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)機DH500JJC生(sheng)產廠家(jia)該(gai)鍍(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)機主要用(yong)于科研實(shi)驗，可制備納(na)米級(ji)和微(wei)米級(ji)的單層及(ji)多(duo)(duo)層功(gong)能膜(mo)(mo)(mo)(mo)-各(ge)種(zhong)硬質膜(mo)(mo)(mo)(mo)、光學膜(mo)(mo)(mo)(mo)、金屬膜(mo)(mo)(mo)(mo)、鐵磁(ci)薄膜(mo)(mo)(mo)(mo)、半(ban)導體膜(mo)(mo)(mo)(mo)、介(jie)質膜(mo)(mo)(mo)(mo)和氧(yang)化物薄膜(mo)(mo)(mo)(mo)等多(duo)(duo)種(zhong)薄膜(mo)(mo)(mo)(mo)。
DH-500JJC型(xing)多(duo)靶磁(ci)控濺射鍍膜機DH500JJC生產廠家
該鍍膜(mo)(mo)(mo)機主要用于科研實驗，可(ke)制備納米級(ji)和微米級(ji)的單(dan)層及多層功(gong)能膜(mo)(mo)(mo)-各(ge)種(zhong)(zhong)硬質膜(mo)(mo)(mo)、光學膜(mo)(mo)(mo)、金屬膜(mo)(mo)(mo)、鐵磁(ci)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)、半導體膜(mo)(mo)(mo)、介質膜(mo)(mo)(mo)和氧化物薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)等(deng)多種(zhong)(zhong)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)。
該(gai)鍍膜(mo)機為前開門式設(she)計(ji)，功能強、鍍膜(mo)質(zhi)量穩(wen)定(ding)、重(zhong)復性好、操作簡便。真空室材(cai)(cai)料均采(cai)用優良(liang)材(cai)(cai)質(zhi)SUS304 不(bu)銹(xiu)鋼材(cai)(cai)料制(zhi)造(zao)，工藝規(gui)范(fan)、精(jing)致，保(bao)證了材(cai)(cai)料的成膜(mo)純度。
采用分子泵+直聯機械泵機組，具有抽(chou)速快(kuai)、無油(you)、操作方便快(kuai)捷、易(yi)于維護(hu)的特(te)點(dian)。
◆ 鍍膜方式(shi)：可實現多靶共濺模式(shi)；
◆ 磁控靶：圓(yuan)柱/平面靶；
◆ 進氣系(xi)統(tong)：三路質量(liang)流量(liang)計(ji)；
◆ 鍍膜室體積：500mm*500mm*600mm；
◆ 極(ji)限真空度(du)：5X10-5 Pa，恢復(fu)真空：從大(da)氣抽至6.7X10-4 Pa （40分鐘）；
◆ 真空抽(chou)氣系統：機(ji)械泵與分子泵組成；
◆ 真空測量系統：數顯復合真空計；
◆ 工作電(dian)源：直流電(dian)源500W；射頻(pin)電(dian)源500W（13.56MHz）；加熱控溫電(dian)源；
◆ 工(gong)件(jian)烘(hong)烤(kao)溫(wen)度：室溫(wen)～800℃可(ke)控可(ke)調(PID控溫(wen))；
◆ 選配件(jian)：石(shi)英晶振測厚儀、冷卻水機組(zu)等；
◆ 供(gong)電電源：三相AC380V，50Hz。
◆ 特殊規格可定制。
DH-500JJC型多靶磁控濺(jian)射鍍膜機DH500JJC生產廠(chang)家
SXL-1008 SX2-5-12N SXL-1208 SX2-4-13N SXL-1216 SXL-1002 YAZDI-10 SX2-12-16 SX2-8-16 SX2-10-13 SX2-8-13 SX2-6-13 SX2-4-13 SX2-10-1