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石英管式微波等離子體裝FM-CVD

的詳細介紹

（一）主要配置：

1、微波頻率(lv)2.45GHz；足額功率(lv)0～500W（基本(ben)型）或0～1000W（升級(ji)型）連續(xu)可調，陽*壓、陽極電(dian)流(liu)足額顯示；

2、Φ50mm（基(ji)本型(xing)）或Φ90mm（升級型(xing)）石英管真(zhen)空室，有一(yi)個(ge)觀察窗(chuang)和(he)一(yi)個(ge)診斷窗(chuang)；

3、石英管(guan)采用(yong)制(zhi)冷循環(huan)水冷卻，保(bao)證裝(zhuang)置安全運(yun)行。

4、配有(you)真(zhen)空測量及控(kong)制閥門系統；3路工作氣體流量控(kong)制；

（二）典型實驗：

1、等離子(zi)體化學(xue)氣(qi)相沉積。A（氣(qi)）+B（氣(qi)）→C（固）+D（氣(qi)）。

反應氣體A、B被激發(fa)為等離子狀態(tai)，其活性基(ji)團發(fa)生(sheng)反應生(sheng)成所需要的(de)固(gu)態(tai)物沉積(ji)在(zai)基(ji)片上(shang)，可廣泛(fan)用于(yu)薄膜(mo)或納米材料(liao)的(de)合成。如(ru)金剛石薄膜(mo)、碳納米材料(liao)等。

2、等離子(zi)體表面(mian)刻蝕。A（氣）+B（固）→C（氣）。反(fan)應氣體A被激(ji)發(fa)為(wei)等離子(zi)體狀(zhuang)態(tai)(tai)與(yu)固體B表面(mian)原子(zi)發(fa)生(sheng)反(fan)應生(sheng)成氣態(tai)(tai)物C，可(ke)用于集成電路的刻蝕實(shi)驗。

3、等離(li)子體催化反應(ying)。等離(li)子體中(zhong)具有豐富的(de)活性成分，如(ru)紫外和(he)可(ke)見光子、電(dian)子、離(li)子、自由基，高反應(ying)性的(de)中(zhong)性成分如(ru)活性原子、受激原子態，從而可(ke)以引發(fa)在常規化學中(zhong)不(bu)能或很難(nan)實現的(de)化學反應(ying)。

4、等離(li)子(zi)體(ti)表(biao)面(mian)改(gai)性(xing)。A（氣(qi)(qi)）+B（固）→C（固）。反應氣(qi)(qi)體(ti)A被激發為等離(li)子(zi)體(ti)狀態，與固體(ti)B表(biao)面(mian)發生(sheng)(sheng)反應，生(sheng)(sheng)成新的(de)(de)化(hua)合物，從而(er)達到改(gai)變B物質表(biao)面(mian)性(xing)質的(de)(de)目(mu)的(de)(de)。廣泛用于高分(fen)子(zi)材(cai)(cai)料、金屬材(cai)(cai)料、生(sheng)(sheng)物醫用材(cai)(cai)料的(de)(de)表(biao)面(mian)改(gai)性(xing)。

（三）產品特色：

1、  微波系統設(she)計(ji)嚴(yan)謹，加工精良，運行時微波準零泄漏，確保使用者人身(shen)安全；

2、  微波功率充足，等(deng)離(li)子(zi)效(xiao)應強(qiang)勁，作用(yong)效(xiao)果良好(hao)；陽(yang)極(ji)電壓(ya)電流足額顯(xian)示。

3、  樣(yang)品臺(tai)升降架(jia)精巧豪華，方便調諧和樣(yang)品取放；

4、  樣品臺可加熱或(huo)冷卻，有利(li)于控制反應過(guo)程(cheng)。

5、制冷循環(huan)水系統踐行環(huan)保理念，避(bi)免用長流水費水擾民。

6、循(xun)環水機(ji)可聯(lian)機(ji)使用(yong)、可獨(du)立使用(yong)，提(ti)高了投資(zi)效益(yi)；

7、缺水(shui)時啟動高(gao)壓或(huo)正常工(gong)作時斷水(shui)，系統會斷電(dian)并報警；

8、真空(kong)泵排(pai)氣口接(jie)有油霧(wu)過(guo)濾器，保(bao)護環境；

9、電(dian)控系(xi)統功能(neng)完(wan)善、操作靈(ling)便、指示(shi)醒(xing)目；

10、整機造型典(dian)雅大氣。

（四）輔助設(she)備(bei)與耗材（主要由客戶另購）：

超(chao)聲清(qing)洗機、1000×金相顯微鏡；硅(gui)片、金剛石微粉、氫氣、甲烷、甲 / 乙醇、玻璃基襯底的碳膜、模板(ban)(ban)、石英管 / 板(ban)(ban)等。

石英管式微波等離子體裝FM-CVD

（五）特殊配置（客(ke)戶提出(chu)要求,本廠設計制作(zuo),費用雙方協商(shang)）：

1、異型(xing)基片臺（樣品臺）

2、上置疹(zhen)斷探(tan)針（帶透明觀察窗）

3、可加熱可測溫的基片臺——可水冷可

出接線(xian)端子的基片臺(tai)支柱——寬行(xing)程

精巧豪華升降架——下法蘭（總成）

4、基片(pian)臺(tai)加(jia)熱(re)及溫度測控儀

5、可水冷的基(ji)片(pian)臺（帶升(sheng)降架總成(cheng)）

6、光學鏡頭（用于聯接光譜儀、光度計等）

7、客戶提出(chu)需求的其它配置