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循環水機FM-S

的詳細介紹

（一）主要配置：

1、微波頻率(lv)2.45GHz；足額功率(lv)0～500W（基本型）或0～1000W（升級型）連續可調，陽(yang)(yang)*壓(ya)、陽(yang)(yang)極電流足額顯示；

2、Φ50mm（基本型(xing)）或Φ90mm（升級(ji)型(xing)）石(shi)英管真空室，有(you)一個(ge)觀察窗和一個(ge)診斷窗；

3、石英管采用(yong)制冷(leng)循(xun)環(huan)水冷(leng)卻，保證裝置安全運行。

4、配有真空測量及控制閥門系統；3路工作氣體流量控制；

（二）典型實驗：

1、等離(li)子體化學氣相沉積。A（氣）+B（氣）→C（固）+D（氣）。

反應氣體A、B被激發為等離子狀(zhuang)態，其活性基(ji)團發生反應生成所需要的固態物沉(chen)積在(zai)基(ji)片上(shang)，可廣泛(fan)用于(yu)薄膜(mo)或納米(mi)材料的合成。如金剛石(shi)薄膜(mo)、碳(tan)納米(mi)材料等。

2、等離子體表(biao)面刻蝕(shi)。A（氣(qi)）+B（固）→C（氣(qi)）。反應(ying)氣(qi)體A被(bei)激發為等離子體狀態(tai)與(yu)固體B表(biao)面原(yuan)子發生反應(ying)生成氣(qi)態(tai)物C，可用于集成電路的刻蝕(shi)實(shi)驗。

3、等(deng)(deng)離子(zi)體催化反應。等(deng)(deng)離子(zi)體中(zhong)具有豐富(fu)的(de)(de)活性成分，如紫外和可(ke)見光子(zi)、電子(zi)、離子(zi)、自由基，高反應性的(de)(de)中(zhong)性成分如活性原子(zi)、受激原子(zi)態，從而可(ke)以引發在常規化學中(zhong)不能或很(hen)難實現(xian)的(de)(de)化學反應。

4、等離子(zi)體(ti)表面(mian)改性。A（氣）+B（固(gu)）→C（固(gu)）。反應(ying)氣體(ti)A被(bei)激(ji)發(fa)為等離子(zi)體(ti)狀態，與固(gu)體(ti)B表面(mian)發(fa)生(sheng)(sheng)反應(ying)，生(sheng)(sheng)成新的化合物，從(cong)而達到改變B物質表面(mian)性質的目的。廣泛用于高分子(zi)材(cai)料、金屬(shu)材(cai)料、生(sheng)(sheng)物醫用材(cai)料的表面(mian)改性。

（三）產品特色：

1、  微(wei)波(bo)系統設(she)計嚴謹，加(jia)工精良(liang)，運行時微(wei)波(bo)準零(ling)泄漏，確保使用者人身安(an)全；

2、  微波功(gong)率充足，等離子效應強勁，作用效果良(liang)好；陽極電(dian)壓(ya)電(dian)流足額顯示。

3、  樣(yang)品臺升降架精巧豪華(hua)，方便調諧和樣(yang)品取放；

4、  樣品臺可加(jia)熱(re)或冷卻(que)，有利于控(kong)制反應過程。

5、制冷循環水系統踐行環保理念(nian)，避免(mian)用長流水費水擾(rao)民。

6、循環水機可(ke)聯機使(shi)用、可(ke)獨立(li)使(shi)用，提高了投資(zi)效益；

7、缺(que)水(shui)時(shi)(shi)啟動高壓或正常(chang)工作(zuo)時(shi)(shi)斷(duan)水(shui)，系(xi)統(tong)會斷(duan)電并報警；

8、真空泵排(pai)氣口接有油霧(wu)過濾器，保護環境；

9、電控系統功能完(wan)善、操作靈便(bian)、指(zhi)示醒目；

10、整(zheng)機造型典(dian)雅大氣(qi)。

（四）輔助設備與耗材（主要由客戶(hu)另購）：

超聲清洗機、1000×金相顯微(wei)鏡；硅片、金剛(gang)石微(wei)粉、氫氣、甲烷、甲 / 乙醇、玻璃(li)基襯底的(de)碳膜、模板(ban)(ban)、石英管 / 板(ban)(ban)等。

（五）特(te)殊配置(zhi)（客(ke)戶提出要求,本廠(chang)設(she)計制(zhi)作,費用雙方(fang)協商）：

   1、異型基(ji)片(pian)臺(tai)（樣(yang)品臺(tai)）              （參考價￥220）

   2、上置疹斷探針（帶透明觀察窗(chuang)）      （參考(kao)價￥360）

3、可加熱可測(ce)溫(wen)的基片(pian)臺——可水冷可

出接(jie)線(xian)端子的基片臺支柱——寬行程

精巧豪華升降架——下法(fa)蘭（總成）   ; （參考價￥6800）

 4、基(ji)片臺(tai)加熱(re)及溫度測控儀  ;          （參(can)考(kao)價(jia)￥1100）

   5、可水冷的基(ji)片臺（帶升降(jiang)架總成）    （參考價￥3600）

   6、光學鏡頭(tou)（用于聯接光譜儀、光度計等） （參考價￥1500）

   7、客戶(hu)提出需(xu)求的其(qi)它(ta)配(pei)置            （另議）

循環水機FM-S

主要特點;
1.臺(tai)式設計，外(wai)形美觀，結構(gou)小巧(qiao)

2.不銹鋼水箱，防止水質污染
3.采(cai)用(yong)PID智能(neng)整定功能(neng)，控(kong)溫(wen)精確